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[問題] 光微影製程實驗問題

看板Engineer (工程師)作者 (端)時間3年前 (2021/01/25 22:57), 編輯推噓1(1推 0噓 7→)
留言8則, 3人參與, 3年前最新討論串1/1
請問這邊有黃光製程工程師嗎 光阻塗布在玻璃基板上 曝光顯影硬烤完 只有在四個角落觀察到清楚的線路 其他地方感覺都被一層霧霧的東西覆蓋住了 試著調整製程都改善不了 請問可能是什麼問題呢？ https://i.imgur.com/9N2qdSG.jpg
-- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 49.216.88.55 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Engineer/M.1611586649.A.3B0.html
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01/29 01:57, 3年前 , 1F
是不是光阻peeling了？
01/29 01:57, 1F
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01/29 01:58, 3年前 , 2F
看你右下方整個圖形都不見了，周邊的pattern也都糊掉了
01/29 01:58, 2F
推
02/04 11:27, 3年前 , 3F
defect問題吧
02/04 11:27, 3F
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02/09 00:33, 3年前 , 4F
資訊太少了吧...你是用spinner上光阻？膜厚range有沒有
02/09 00:33, 4F
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02/09 00:33, 3年前 , 5F
過大？有沒有上HMDS?塗佈及顯影過程中有沒有退潮？玻璃
02/09 00:33, 5F
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02/09 00:33, 3年前 , 6F
基板底層反射有沒有考慮？霧霧的有沒有用高倍率下去看是
02/09 00:33, 6F
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02/09 00:33, 3年前 , 7F
否有許多細小孔洞？顯影是用手還是超音波震盪？顯影劑濃
02/09 00:33, 7F
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02/09 00:33, 3年前 , 8F
度？
02/09 00:33, 8F
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