[請益] 薄膜製程溫度與回火製程溫度硬度比較

看板Mechanical (機械)作者 (拿到畢業證書才是一切)時間15年前 (2010/01/13 00:16), 編輯推噓7(7020)
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我是做有關於兩種不同製程加熱方式的氮化鈦薄膜硬度測試 製程溫度為在濺鍍機內直接加熱 回火製程溫度是以常溫的薄膜進行熱回火加熱 同樣都是從100~300度 在硬度檢測時回火製程加熱100~300度的薄膜硬度居然會比常溫的還要低??? 這是正常的嗎? 有大大可以給我幫我解答這個疑惑嗎?謝謝~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.138.138.139

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高溫不是本來就會比較低嗎?
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可是我再回火加熱到500及700度時硬度值又有明顯回升
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而製程加熱也是300度時硬度最好
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有機會是residual stress導致
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compressive會使硬度量測結果變大 tensile會使之變小
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跟基材有關嗎?!
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我的基材是304不銹鋼
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所以b大你的意思是100~300受到tensile的影響,500~700
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受到compressive的影響 可以麻煩解釋compressive 與
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tensile的意思嘛? 謝謝 感激
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均值材料應該不會有resdiual stress吧
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除非在加熱的過程有受載。
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我覺得比較奇怪的是500~700硬度又增加,這個溫度應該已經接
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近再結晶溫度了,照理說所以機械性質都應該變弱才對。
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compress跟tensile不太適合用在這裡這樣解釋
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通常回火溫度越高,硬度會越低這是正常的.
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你的濺鍍溫度是多少度呢? 200度左右的 or 500度左右的?
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500~700度C這一段硬度會上升,我認為是M23C6這類的
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複碳化物因為時效的關係而增加了析出量
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當然這只是一種猜測.
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另外你的硬度值測出來的數據是多少呢?
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有時候測硬度也會有點問題
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01/16 07:54, , 23F
之前有作過薄膜(Si3N4)奈米壓痕測試 有發現這現象
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找了數篇paper 才知道殘留應力具有一定的影響 我的經驗
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掃一下薄膜的曲率 向上凹還是向下凹 可估算應力程度
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當然這是純以力學的角度 材料性質考慮方面 還是要靠
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板上的前輩指導
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文章代碼(AID): #1BJA13VU (Mechanical)
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