[請益] 關於目前業界定為平台的精密度
我們實驗室主要是做控制定位
上一個計畫目前有做到10奈米左右的平台定位
測量是用雷射干涉儀
然而在下一個計畫我們負責的也是控制定位
但...主計畫的教授說現在業界都是做到一奈米的
想請問一下板上
現在業界真的都做到一奈米了嗎?
還是指的是解析度不是精度
因為目前我看DATA干擾就超過一奈米了
真的要做就要把之前的平台拆掉重新思考別的方法
感謝板上熱心的回答
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