[技術] 高溫真空環境下的旋轉元件選用
小弟是個小小的研究生
最近老闆丟了一個題目給我叫我想想
但小弟不才想了一陣子沒想到半個好的方法，因此上來問問大家的意見。
某些MOCVD的機台上使用到行星式的反應腔(Planetary Reactor)
它不僅會公轉又會自轉，
設計上困難的地方是要在高達1100度C的真空環境下讓載盤旋轉，
並且不能有粉塵的產生，需求公轉轉速約為10rpm，自轉約為60rpm。
原廠用的方式為在晶圓的基座下吹氫氣使其飄浮並旋轉，
並且可以獨立控制各個轉盤，真的是蠻神的。
其名稱為Gas Foil Rotation，但是有專利我們不能抄它的……
另外也有查到是使用SiC coating 石墨，使用主軸加齒輪帶動行星轉盤的方式。
不知道大家能不能給我一點建議或方向，或是幾個關鍵字，
先謝過了
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.156.198
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對不起我錯了..
推
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1. 我找到的資料上有看到兩種方式，分別為用行星齒輪的並由馬達驅動公轉和自轉，
另一種則是行星載盤下噴氣使載盤自轉，我的目標是提出第三種方法達到公轉和自轉
2. 輸入還不確定，但我直覺認為液體似乎不是一個可行的選項，因為高溫又真空的關係
※ 編輯: liaoifan 來自: 140.113.156.198 (07/04 21:12)
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