[問題] 氣體流量與壓力的問題
大家好
因為小弟實驗用機台的其中一顆氣體感測器壞了
換了一顆新的後發現流量跟壓力好像跟之前不太一樣
所以請想問一下
我們用的氣體是Ar 跟O2 氣體流量比例是1:3
那壓力是否也會是1:3
本身是讀電機的
我沒學過流體方面的東西
上網看的一些資料也不太懂
可以麻煩大家幫我解答一下嗎?
謝謝大家
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 122.117.150.109
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Mechanical/M.1492866319.A.733.html
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可以請問一下我該怎麼去計算嗎?
麻煩你了
※ 編輯: qoo31751 (122.117.150.109), 04/22/2017 21:49:24
推
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體積流率 單位 sccm
原本Ar是調1.9 sccm 會有 1.2 mTorr的數值
至於O2就沒注意過了 謝謝
※ 編輯: qoo31751 (122.117.150.109), 04/22/2017 22:38:23
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RF磁控濺鍍機唷 比例沒辦法控制好 蠻麻煩的 QQ
※ 編輯: qoo31751 (122.117.150.109), 04/23/2017 01:03:21
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好唷 謝謝
剛剛發現了流量計的可以轉的最大值不一樣
一個只有到20 一個可以轉到100
不知道是我們要重新校正 還是sensor的廠牌不同...
※ 編輯: qoo31751 (140.117.165.80), 04/23/2017 13:04:17
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我的意思是我們換了一顆sensor以後
流量計的最大值就不一樣了
我現在是有在try參數啦
做等比我倒是沒想到QQ
明天再去試試 感謝你囉
※ 編輯: qoo31751 (220.132.95.133), 04/24/2017 00:01:49
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