[問題] 請問有沒有板大知道 12吋wafer C O檢測

看板PhD (博士班)作者 (自由的左腳)時間12年前 (2013/07/08 09:36), 編輯推噓4(403)
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請問有沒有板大知道 如何檢測12吋wafer上面的C O含量 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.32.85

07/08 17:45, , 1F
XPS 不過不知道你是想看表面吸附還是內含雜質
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07/08 18:35, , 2F
請問哪裡有可以使用 謝謝
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07/08 18:43, , 3F
業界來這裡是問不到的
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07/08 21:40, , 4F
閎康
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07/09 20:42, , 5F
XPS看表面O ,C並不準確,即使高真空依然會有O,C 吸附
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如果看wafer內層可透過ion etching後再檢測
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07/09 20:46, , 7F
學界113,114材料系貴儀都有,業界閎康
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文章代碼(AID): #1HsXU1IQ (PhD)
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