[新竹] 交通大學 半導體製程技術實驗
課程名稱: 半導體製程技術實驗（實作課）
開課時數: 30小時
上課費用: 一般價7,000元
特約廠商、學生、
3人以上團報6,000元
5人以上團報 5,000元
結訓規定本課程應配合事項： 簽到/簽退*1、課程測驗*2
*1：核發「結訓證書」依據為出席率8成以上（依據簽到退表資料）
開課日期: 102年7月2日至8月1日 每週二、四 18:30~21:30
開課地點: 課堂課：交通大學工程四館教室
實驗課：奈米中心半導體教學實驗室與元件計測實驗室
（教室地點課前將以行前通知另行公佈）地址：新竹市大學路1001號
招生對象半導體產業暨相關系統業者之在職人士或有相關技術需求者
*2：「課程測驗」評量分數60分以上，以是非、選擇題或作業方式進行。
實驗室規定
(1)請勿攜帶電子攝錄產品、貴重物品
(2)禁止飲食
(3)請穿鞋襪、勿著短褲、裙裝與拖鞋
(4)大樓與實驗室均有門禁，請遵守上課集合時間。
課程目標有電子元件基本常識或現職IC設計、製程人員，欲親身體驗元件全部製程，以增
進其設計、製造或學習進階製程之能力。課程內容強調製程實務與學員實際操作，期能使
學員了解在潔淨室中工作注意事項、培養正確的安全衛生防護觀念、以及具備半導體製程
之操作能力。
1. 課程大綱無塵室環境介紹與安全工作注意事項。
2. 製程簡介：包含晶圓清洗、氧化、擴散、薄膜沉積、雜質摻雜、微影和蝕刻等製程。
3. 實際製作MOS電容器與PN二極體。
4. 分組實作與電性量測分析。
授課師資溫婷婷 博士
現職：國立交通大學奈米中心 博士後研究
經歷：國立交通大學奈微所 博士後研究
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