[請益] 微機電製程幾個問題
1.plasma的製程為何需要高真空?
2.判斷電漿蝕刻終止的原理。
3.薄膜製程容易有熱應力,其原理為何?
答案找好久都找不到合適的答案qq
看有沒有人知道 拜託了
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