[請益] 請問在真空中能自轉的機構
不好意思,小弟不是機械專門。近來製程需要,要能斜向蒸鍍,但是不太可能改裝蒸鍍
機,專門為了我一個45度斜向蒸鍍(還要旋轉)。
簡單畫示意圖:
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\ (wafer 也要在自己法向量轉動)
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U <--鎢舟
於是有幾個想法:
1. 利用發條,上好發條做一個機構讓wafer轉動。 (大概要1~0.1rpm 持續4小時即可)
2. 小馬達(但電池我查資料應該是不可能進蒸鍍機的)
3. 利用正上方有一個可以轉動的holder加一些齒輪之類的...
目前傾向朝1方法考慮,但有幾點:
1. 真空機裡不可以有潤滑油等等東西存在
2. 東西不能太重 確切不清楚 但我想1kg以下吧!~
不知道這個想法能否在實務面上能實行?
最後,不知道我該找哪個廠商來訂做呢?(預算我想兩萬以下都還可以接受)
如有相關的前輩能提點實在非常感恩~~謝謝!~
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