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[請益] 陶瓷平整度該如何量測

看板Mechanical (機械)作者 (Sam)時間15年前 (2010/03/29 21:37), 編輯推噓6(6推 0噓 16→)
留言22則, 8人參與, 最新討論串1/1
請問各位先進 若我兩片陶瓷相閉合時，要如何判斷它平整度是很平的 以至於不會有任何間隙，要用甚麼儀器去進行確認呢? 用三次元好像又不能看出甚麼端倪 麻煩各位了，聽說好像有類似光的方式來量測 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 114.38.22.123
推
03/29 21:49, , 1F
超音波可行嗎？　看反射訊號
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03/29 21:49, , 2F
因為是閉合　條件比較麻煩點....
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03/29 21:55, , 3F
閉合那面有特別做了鏡面..但還是會漏氣
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03/29 22:13, , 4F
看能不能像塊規一樣貼合~~
03/29 22:13, 4F
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03/29 22:31, , 5F
其實我是兩塊陶瓷裡頭會有氣體流動，就是不能漏氣
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推
03/29 22:52, , 6F
不加墊片 不漏氣幾乎不可能吧
03/29 22:52, 6F
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03/29 23:10, , 7F
我也想加，可是實際情況是不行的，#_#
03/29 23:10, 7F
推
03/29 23:15, , 8F
有圖嗎？　我還以為你是說兩片閉合測他的密封哩　搞錯了
03/29 23:15, 8F
推
03/30 01:04, , 9F
要平整到不會漏氣，可能要到用晶圓級的研磨才行。
03/30 01:04, 9F
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03/30 01:05, , 10F
那如果是要量測平整度，有兩種可以做到，一種是laser，一種
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03/30 01:06, , 11F
是AFM，至於那種適用，要看你的大小多大。
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03/30 01:06, , 12F
如果太大片，用AFM可能比較難做到，甚至根本沒這個大的。
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03/30 18:12, , 13F
干涉儀可行嗎？
03/30 18:12, 13F
推
03/30 18:32, , 14F
用光學平板
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03/30 22:19, , 15F
若是晶圓級的研磨，是不是要找同等級的機台呢?
03/30 22:19, 15F
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03/30 22:20, , 16F
我這兩塊陶瓷是大概拇指大小左右，應該可以用afm?
03/30 22:20, 16F
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03/30 22:21, , 17F
有人可以推薦一下AFM的參考資料嗎?
03/30 22:21, 17F
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03/30 22:23, , 18F
在請問若是光學平板，哪裡可以找到廠商量測?
03/30 22:23, 18F
推
03/30 23:47, , 19F
AFM你google應該一堆資訊吧，這個東西現在很多地方都有，給
03/30 23:47, 19F
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03/30 23:47, , 20F
外面測應該沒什麼困難的。
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03/31 01:09, , 21F
你該不會想看有沒有漏氣而不是他的平整度吧?
03/31 01:09, 21F
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03/31 01:12, , 22F
陶瓷的種類和燒結問題都有可能在內部產生孔隙所以不一定
03/31 01:12, 22F
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