[請益] sputter如何沈積在空心管內
請教一下
有一個空心管(外徑15cm 內徑10cm)
想要用sputter沈積二氧化矽材質 在管內
大概要怎麼做才能沈積在裡面??
要做治具還是有何方法?
謝謝
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推
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