[技術] 請問關於腔體內抽真空
目前工作上有一困擾，想請教一下前輩們，
我有一個高真空的腔體，會抽到1torr以下。
裡面放一治具用另一個真空源吸著一片玻璃，
每當我腔體抽氣達到高真空時，玻璃就會慢慢浮起來，定位就跑掉了，
試過治具用同一來源的高真空pump一樣吸不住會浮起來，
請問這問題有解嗎？實在想不透怎麼導致上浮的，等壓的情況下，玻璃有自重還會浮?
懇請先進們幫我解惑一下，謝謝!!
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