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[討論] 真空腔體達不到預想壓力

看板Mechanical (機械)作者 (shauin)時間4年前 (2020/01/21 20:31), 4年前編輯推噓23(23推 0噓 69→)
留言92則, 17人參與, 4年前最新討論串1/1
感謝樓下的各位回覆，目前這組腔體會把牙孔保留（還有其他測試要用） 挖一個洞焊接kf40的接頭型式與幫浦（新幫浦）銜接， 先測試腔體能到達10-3torr在走下一步，更換真空計跟修改牙口的管路。 想請教板上有沒有真空達人...... 目前小弟遇到設備的腔體客戶要求達到1pa 換算torr 是 10-3 但我標頭的真空值顯示-80kp就下不去了（目標值1pa=-101kpa嗎？） 搞不太懂哪個環節出問題。 另外腔體我放置12小時負壓-78kpa變-77kpa 理論上洩漏很微量。 https://i.imgur.com/Yjchblv.jpg
附上幫浦資料 https://i.imgur.com/80VxuYd.jpg
https://i.imgur.com/V0CFDt3.jpg
有人有推薦的錶頭跟pump嗎？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 27.247.133.110 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Mechanical/M.1579609904.A.562.html
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01/21 20:55, 4年前 , 1F
站壓站的住嗎
01/21 20:55, 1F
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01/21 21:42, 4年前 , 2F
這樣接可以往-101kPa嗎.你規格似乎是高真空了...先
01/21 21:42, 2F
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01/21 21:42, 4年前 , 3F
確認其它接頭處有無洩漏，焊接體是否也沒洩漏。
01/21 21:42, 3F
測試12小時-78kpa變為-77kpa這樣能算沒洩漏嗎？
推
01/21 23:22, 4年前 , 4F
先確認真空表量測值線性範圍可以到這數字
01/21 23:22, 4F
我看規格是能到-101kpa
→
01/21 23:23, 4年前 , 5F
不然你會被讀數不正確的問題搞死XD
01/21 23:23, 5F
推
01/21 23:26, 4年前 , 6F
幫浦規格對嗎
01/21 23:26, 6F
推
01/21 23:42, 4年前 , 7F
如果不是幫浦用錯、真空計有問題 那就是有漏
01/21 23:42, 7F
※ 編輯: a58903070 (27.247.133.110 臺灣), 01/22/2020 11:01:26
推
01/22 11:27, 4年前 , 8F
十二小時少一，差不多是零洩了，你應該是負壓在抽
01/22 11:27, 8F
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01/22 11:27, 4年前 , 9F
看看，機械本身能抽那麼高嗎
01/22 11:27, 9F
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01/22 11:29, 4年前 , 10F
經驗上是有的號稱可以抽到這樣高，但是實際上抽不
01/22 11:29, 10F
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01/22 11:29, 4年前 , 11F
起
01/22 11:29, 11F
推
01/22 17:39, 4年前 , 12F
洩漏並是不是只看12小時，有可能你的抽與漏，已經
01/22 17:39, 12F
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01/22 17:39, 4年前 , 13F
剛好平衡，所以真空只能在-70kPa
01/22 17:39, 13F
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01/22 17:40, 4年前 , 14F
另一個做法，先排除管路，腔體灌入一正壓，接縫處
01/22 17:40, 14F
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01/22 17:40, 4年前 , 15F
塗泡水，接頭處都塗，看看有否洩漏
01/22 17:40, 15F
基本上我負壓測試是打到-78關閉幫浦12小時後到-77，這個洩漏量我個人認為是很小的。
推
01/22 22:58, 4年前 , 16F
拿PUMP去抽別台阿
01/22 22:58, 16F
推
01/22 23:22, 4年前 , 17F
照圖看，這?大的箱體，如果是微弱的平衡，應該是很
01/22 23:22, 17F
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01/22 23:22, 4年前 , 18F
快就掉了
01/22 23:22, 18F
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01/22 23:23, 4年前 , 19F
小箱體我才有遇過這種事，大箱體，我沒遇過就是了
01/22 23:23, 19F
推
01/22 23:25, 4年前 , 20F
當然a大的打正壓下去看泡泡，這我也常這樣做，這都
01/22 23:25, 20F
→
01/22 23:25, 4年前 , 21F
試看看吧
01/22 23:25, 21F
→
01/23 01:48, 4年前 , 22F
1. 這顆pump是單級還是雙級的？ 如果是單級很難到10-3 torr
01/23 01:48, 22F
這可能等開工才能問pump廠商了
→
01/23 01:50, 4年前 , 23F
2. 用這種管子可能很容易滲氣體或漏氣
01/23 01:50, 23F
管子我有確認是可以用在-101kpa,接頭是用sw接頭。
推
01/23 01:53, 4年前 , 24F
3. 要求的1 Pa應該是 0.0075 torr才對，看你那個真空表大
01/23 01:53, 24F
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01/23 01:53, 4年前 , 25F
概只能顯示到 kPa 或 torr，並不適合
01/23 01:53, 25F
請問有推薦的真空錶可以介紹給我嗎？感激
→
01/23 01:54, 4年前 , 26F
4. 要測漏的話可以在抽真空時輪流在各接縫處噴酒精，有漏
01/23 01:54, 26F
→
01/23 01:54, 4年前 , 27F
的話壓力會升高
01/23 01:54, 27F
這招蠻特別的...我再試試看
→
01/23 18:38, 4年前 , 28F
我猜讀表不准 要量真空壓的讀表都是torr
01/23 18:38, 28F
→
01/24 10:53, 4年前 , 29F
1.光描述你就用不同單位 換算就搞死你自己了
01/24 10:53, 29F
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01/24 10:56, 4年前 , 30F
把表頭直接裝pump上 你就看的到最大能力
01/24 10:56, 30F
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01/24 10:57, 4年前 , 31F
如果這種大小抽真空 跟單抽pump差很多 就是漏
01/24 10:57, 31F
還有 22 則推文
還有 1 段內文
推
01/30 14:32, 4年前 , 54F
用白色鐵氟龍止洩帶沒問題 況且樓主要求只有 10-2 torr
01/30 14:32, 54F
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01/30 14:36, 4年前 , 55F
管子要換倒是真的，如果不想用金屬KF Bellows，至少換成
01/30 14:36, 55F
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01/30 14:39, 4年前 , 56F
鐵氟龍 (FEP或PFA)管
01/30 14:39, 56F
推
01/30 19:23, 4年前 , 57F
沒有氦氣測漏儀時，酒精是很好的測漏方法。表頭,pump,
01/30 19:23, 57F
→
01/30 19:23, 4年前 , 58F
止洩帶都有問題，還有下方的訊號接頭，如果您在台中，可
01/30 19:23, 58F
→
01/30 19:23, 4年前 , 59F
以搬來我廠內，免費幫您氦氣測漏！
01/30 19:23, 59F
推
01/30 22:25, 4年前 , 60F
嗯，你要看範圍。He 是在比較高端的在用，像有管路
01/30 22:25, 60F
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01/30 22:25, 4年前 , 61F
洩漏會引起爆炸
01/30 22:25, 61F
推
01/30 22:26, 4年前 , 62F
像我做電子業的防爆防水，其實不用氦氣，負壓跟正
01/30 22:26, 62F
→
01/30 22:26, 4年前 , 63F
壓交相來就好了
01/30 22:26, 63F
→
01/31 07:52, 4年前 , 64F
氦氣是因為往上飄，酒精會擴散，測漏是在找洩漏點，所以靶
01/31 07:52, 64F
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01/31 07:54, 4年前 , 65F
子跟飛鏢越準越好。100Pa內才算到了真空，1ATM到100Pa可能3
01/31 07:54, 65F
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01/31 07:56, 4年前 , 66F
秒，但100Pa到10Pa搞不好永遠到不了，真空跟負壓差很大
01/31 07:56, 66F
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02/01 01:28, 4年前 , 67F
液體測漏是便宜方便用 如果能達到測漏儀程度 誰會買?
02/01 01:28, 67F
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02/01 01:29, 4年前 , 68F
液體測漏最大問題是 真空狀態下 液體會凝結
02/01 01:29, 68F
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02/01 01:29, 4年前 , 69F
縫不大 也抓不到
02/01 01:29, 69F
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02/01 01:31, 4年前 , 70F
客戶端求方便才用液體測漏 製造商是測漏儀加持壓
02/01 01:31, 70F
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02/01 01:32, 4年前 , 71F
水層 腔體 組件後 試車後 可以這樣測4輪才出廠
02/01 01:32, 71F
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02/01 01:34, 4年前 , 72F
不這樣測 等到客戶進件後 達不到真空度 就有的找原因了
02/01 01:34, 72F
※ 編輯: a58903070 (115.43.168.193 臺灣), 02/01/2020 20:26:17
推
02/03 00:19, 4年前 , 73F
以前做氦氣測漏時，發現有氣漏，也是用正壓+肥皂水去
02/03 00:19, 73F
→
02/03 00:19, 4年前 , 74F
抓哪裡有氣漏，問過測漏儀的設備商也說這方法是可行
02/03 00:19, 74F
→
02/03 00:19, 4年前 , 75F
的。
02/03 00:19, 75F
→
02/03 21:51, 4年前 , 76F
焊真空法蘭記得要從腔體內焊一圈，不行從外面焊(縫隙被留在
02/03 21:51, 76F
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02/03 21:51, 4年前 , 77F
真空腔體內)
02/03 21:51, 77F
→
02/03 21:52, 4年前 , 78F
to h大：測漏儀就可以直接抓到漏點了，為什麼還要再正壓?
02/03 21:52, 78F
→
02/04 07:54, 4年前 , 79F
測漏儀只能幫忙鎖定某個區段會漏氣，不能很明顯的知道
02/04 07:54, 79F
→
02/04 07:54, 4年前 , 80F
哪個點，再加上要拍給客戶看漏氣的狀況，所以才會用
02/04 07:54, 80F
→
02/04 07:54, 4年前 , 81F
正壓+肥皂水的方式。
02/04 07:54, 81F
推
02/04 18:17, 4年前 , 82F
有測漏儀可以直接抓漏點的嗎？介紹一下吧
02/04 18:17, 82F
→
02/04 18:26, 4年前 , 83F
用測漏儀抽腔體，噴氦氣去找漏點
02/04 18:26, 83F
→
02/04 18:28, 4年前 , 84F
02/04 18:28, 84F
推
02/05 21:35, 4年前 , 85F
to:michaelgodtw 每一家的都辦的到
02/05 21:35, 85F
推
02/06 18:15, 4年前 , 86F
用氦氣或H2，表面會不會有痕跡？我們是鐵件但要噴
02/06 18:15, 86F
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02/06 18:15, 4年前 , 87F
漆
02/06 18:15, 87F
→
02/06 18:38, 4年前 , 88F
to:michaelgodtw毫無痕跡 抓到漏會用簽字筆畫圈補焊
02/06 18:38, 88F
推
02/06 19:57, 4年前 , 89F
先排除腔體問題，馬達直接接到真空錶看看能不能達到指定
02/06 19:57, 89F
→
02/06 19:57, 4年前 , 90F
壓力，如果馬達沒問題再進一步去檢查腔體
02/06 19:57, 90F
推
02/10 15:12, 4年前 , 91F
先找個測漏閥接上去噴氦測，半導體廠sop
02/10 15:12, 91F
推
02/18 15:31, 4年前 , 92F
看起來是鋁真空腔，用焊接方式組裝？
02/18 15:31, 92F
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