Re: [問題]雷射鏡面鍍膜的問題
※ 引述《carman (距離的美感)》之銘言：
: 為了降低邊射型雷射鏡面的損耗
: 以便讓短cavity length的雷射能lasing
: 希望能量到較高的f3dB的頻寬增益
: 老師希望我將半導體雷射的鏡面鍍膜
: 我選的材料是MgF2和ZnSe..經由計算共鍍了6對12層
: 每片雷射晶片的長度約1cm 寬度約500um,厚度約100 um
: 方式是在玻璃上貼真空膠帶 然後把雷射晶片立起來
: 然後放在e-gun鍍膜,
: 不過因為雷射的寬度太窄..鍍完後我雖然雷射側面(鏡面)順利鍍膜了
: 但正面也鍍到介電質
: 所以我用GSG probe量時..常常無法順利contact到我的device
: 沒法順利量測
: 想請有經驗的朋友指導,你們是如何鍍雷射的鏡面呢?
: 謝謝!!
你可以試著用較厚的兩片wafer夾住,你的元件長度為500um,那大概用兩片450um
長的Si-wafer,並將你的laser-bar mount在一起,這樣鍍膜時coating只會留在距離
邊緣50um處,不會影響中央的GSG Pad
試看看
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