[問題] 請問SiGe合金通常是用什麼蝕刻液呢

看板PhD (博士班)作者 (chuanjung)時間14年前 (2012/02/10 14:08), 編輯推噓2(201)
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大家好,最近做實驗做到矽鍺合金,想把它蝕刻掉 又不知道要利用那種蝕刻液才能把它吃掉,是否有大大可以分享呢 如果使用KOH的話,這樣可以嗎? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.120.206

02/11 12:16, , 1F
KOH, TMAH我記得都可以,只是rate和 純silicon不一樣
02/11 12:16, 1F

02/11 14:47, , 2F
thx
02/11 14:47, 2F

02/24 00:42, , 3F
NH3應該也可以
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文章代碼(AID): #1FDBHmjh (PhD)
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