[問題] 機台有漏氣，如何抓漏？
目前實驗室中的cvd系統，管線有漏氣，目前在抓漏，
但實在是無任何頭緒...
管線配置如下：
1.鋼瓶--->2.氣體儲存槽--->3.MFC--->4.腔體
每段之間都有針閥，漏氣的地方確定是2~ 4之間，
已經將(2.)的所有氣體都抽完，照理說，應該是沒
有氣體了，可以每當打開3~ 4間的閥時，腔體壓力
又會上升，漏率換算約（0.02 SCCM）!
大家有不錯得廠商可以介紹抓漏嗎？或者可以給我
一些建議，謝謝～
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