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討論串[問題] 關於 SIMS (二次離子質譜儀)
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[問題] 關於 SIMS (二次離子質譜儀)
推噓2(2推 0噓 1→)留言3則，0人參與, 最新作者winess ( )時間15年前 (2009/05/03 20:26), 編輯資訊
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不曉得這版上是否有人了解 SIMS 的一些原理. 小弟我有個問題想請教大家. 假設利用 SMIS 打一個 PN 的結構 (假設P型是磷,N型是硼). 假設上層是P型, 那一開始被打出來的是磷離子. 當打到N型時, 出來的是硼離子. 因為儀器會有個 MASS spectrometer, 磷離子和硼離子
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#2
Re: [問題] 關於 SIMS (二次離子質譜儀)
推噓1(1推 0噓 0→)留言1則，0人參與, 最新作者Pegasus (清晨的洛城)時間15年前 (2009/05/04 03:03), 編輯資訊
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看你用的SIMS機器. 如果你的SIMS配備有Multiple collectors, 那你原則上. 可以同時看磷和硼的depth profile. 只要磁鐵夠大, mass separation夠廣.. 比如說CAMECA 1270, 1280或是NanoSIMS一類的都有辦法.. 如果你用的是C
(還有56個字)
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