Re: [問題] 關於 SIMS (二次離子質譜儀)
※ 引述《winess ( )》之銘言：
: 不曉得這版上是否有人了解 SIMS 的一些原理
: 小弟我有個問題想請教大家
: 假設利用 SMIS 打一個 PN 的結構 (假設P型是磷,N型是硼)
: 假設上層是P型, 那一開始被打出來的是磷離子
: 當打到N型時, 出來的是硼離子
: 因為儀器會有個 MASS spectrometer, 磷離子和硼離子不會同時通過
: 那我想問儀器是要如何打出兩個離子的縱深濃度分布?
: 還是要分兩次打??
: 謝謝~~
: ^^
看你用的SIMS機器. 如果你的SIMS配備有Multiple collectors, 那你原則上
可以同時看磷和硼的depth profile. 只要磁鐵夠大, mass separation夠廣.
比如說CAMECA 1270, 1280或是NanoSIMS一類的都有辦法.
如果你用的是CAMECA 3F ~ 7F之類的小型SIMS, 你也是可以作depth profiling,
只是要變換磁場強度, 讓兩種離子分別讓collector收集.
但是如果你已經知道上層和下層是完全不一樣的東西, 那就分開兩次作就好了.
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只要有星星和我的望遠鏡
就算在沒有人的夜裡
我也不覺得孤單...
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 72.75.112.59
推
05/04 21:36, , 1F
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