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[新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導

看板Stock (股票)作者 (勤樸)時間14小時前 (2025/05/02 22:00), 14小時前編輯推噓44(66推 22噓 103→)
留言191則, 100人參與, 33分鐘前最新討論串1/1
作者: cjol (勤樸) 看板: Tech_Job 標題: [新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學 時間: Fri May 2 21:51:34 2025 作者: noposo (尼波) 看板: Gossiping 標題: [新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學 時間: Fri May 2 10:52:12 2025 備註請放最後面 違者新聞文章刪除 1.媒體來源: ETtoday 20250501 2.記者署名: 魏有德 3.完整新聞標題: 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導 4.完整新聞內文: https://cdn2.ettoday.net/images/8198/8198054.jpg
大陸中科院上海光學精密機械研究所近日傳出前ASML首席科學家林楠率領研究團隊，繞過 二氧化碳激光（雷射光，下同），使用固體激光器技術，成功開發出LPP-EUV光源，已達 國際領先水準，對大陸國產芯片（晶片，下同）及自主研發EUV光刻機具重大意義和突破 。 林楠團隊的研究成果發表於《中國激光》期刊雜誌第6期（2025年3月下），該團隊研究人 員估計，光源實驗平台的理論最大轉換效率可能接近6%，團隊正計劃增加進一步的研究， 未來有望進一步實現國產EUV光刻技術。 公開資訊顯示，EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其中，二 氧化碳激光器激發的Sn等離子體 CE大於5%，是ASML光刻機的驅動光源，這類光源技術由 美國Cymer製造，屬於全球壟斷地位。 在光刻機關鍵技術「卡脖子」的情況下，林楠團隊考慮使用固體脈衝激光器代替二氧化碳 激光作為驅動光源，但能量效率仍需進一步提升。現階段研究成果顯示，林楠團隊1um固 體激光的CE最高可達3.42%，超過荷蘭和瑞士研究團隊的水平，雖仍未超過4%，但已達到 商用光源5.5%轉化效率的一半。 至於該研究團隊的領銜人物林楠擁有眾多身份，他是大陸中科院上海光機所研究員、博導 ，大陸國家海外高層次人才，超強激光科學與技術全國重點實驗室副主任，精密光學工程 部技術總師，中國儀器儀表學會集成電路分會委員，中國光學工程學會微納專委會委員， 曾任荷蘭ASML公司研發科學家、研發部光源技術負責人。 林楠主攻機體電路製造光刻光源以及芯片量檢測光源研發與工程應用研究，師從2023諾貝 爾物理學獎得主「Anne l'Huillier」。 截止目前為止，林楠申請及授權美、日、韓等國國際專利110餘項，多項專利已完成產品 轉化搭載在最新型光刻機及量檢測設備中。 5.完整新聞連結 (或短網址)不可用YAHOO、LINE、MSN等轉載媒體: https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm 心得 真的假的 中國科研這麼威? 還是年年有突破 歲歲買俄貨的翻版? 能對台灣的半導體造成衝擊嗎 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.255.48.71 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1746154334.A.D69.html ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ※ 轉錄者: cjol (1.168.97.210 臺灣), 05/02/2025 21:51:34 ※ 編輯: cjol (1.168.97.210 臺灣), 05/02/2025 21:52:15 ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ※ 轉錄者: cjol (1.168.97.210 臺灣), 05/02/2025 22:00:21 ※ 編輯: cjol (1.168.97.210 臺灣), 05/02/2025 22:00:56
推
05/02 22:00, 14小時前 , 1F
hand written chip
05/02 22:00, 1F
→
05/02 22:01, 14小時前 , 2F
當你什麼都沒有的時候 就會專心自己升級了...
05/02 22:01, 2F
※ 編輯: cjol (1.168.97.210 臺灣), 05/02/2025 22:02:11
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05/02 22:02, 14小時前 , 3F
Icrose S213爬梯翻牆列隊上班
05/02 22:02, 3F
推
05/02 22:02, 14小時前 , 4F
這些消息已經看得很膩了...每年都關鍵突破
05/02 22:02, 4F
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05/02 22:02, 14小時前 , 5F
中國本來就是你越逼他 他就越強
05/02 22:02, 5F
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05/02 22:02, 14小時前 , 6F
中國也不缺人才 滿滿的肯賣肝的人礦
05/02 22:02, 6F
推
05/02 22:03, 14小時前 , 7F
說繞過的，搞不好還是抄人家專利。中國又沒在怕
05/02 22:03, 7F
推
05/02 22:03, 14小時前 , 8F
能量又不到 只能曝屁眼吧
05/02 22:03, 8F
推
05/02 22:04, 14小時前 , 9F
買不到ASML光刻機 就直接挖ASML的人來中國 嘻嘻
05/02 22:04, 9F
→
05/02 22:04, 14小時前 , 10F
市場沒反應
05/02 22:04, 10F
→
05/02 22:04, 14小時前 , 11F
問就是彎道超車，中國恐成領頭羊
05/02 22:04, 11F
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05/02 22:04, 14小時前 , 12F
他們會花錢 挖角供應商的人 來教學 上課
05/02 22:04, 12F
推
05/02 22:04, 14小時前 , 13F
支那中吹大軍5分鐘後到達
05/02 22:04, 13F
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05/02 22:05, 14小時前 , 14F
中又贏～
05/02 22:05, 14F
噓
05/02 22:05, 14小時前 , 15F
板上搜尋asml，以前半年發一次重大突破
05/02 22:05, 15F
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05/02 22:05, 14小時前 , 16F
現在已經加速到兩個月發一次了喔，呵呵
05/02 22:05, 16F
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05/02 22:05, 14小時前 , 17F
中雖然真的很會吹 但持續在進步 也是不爭的事實 看
05/02 22:05, 17F
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05/02 22:05, 14小時前 , 18F
看韓國短短幾年 產業快被卷死
05/02 22:05, 18F
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05/02 22:06, 14小時前 , 19F
突破再突破
05/02 22:06, 19F
→
05/02 22:06, 14小時前 , 20F
一堆人還沒有危機意識 ...
05/02 22:06, 20F
推
05/02 22:06, 14小時前 , 21F
東風快遞 應該不是吹的
05/02 22:06, 21F
推
05/02 22:06, 14小時前 , 22F
老黃講大陸緊追在後，大家應該覺得是假的吧
05/02 22:06, 22F
→
05/02 22:06, 14小時前 , 23F
遙遙領先
05/02 22:06, 23F
推
05/02 22:07, 14小時前 , 24F
https://reurl.cc/j9m2a1 5奈米國產化進度非常快
05/02 22:07, 24F
→
05/02 22:07, 14小時前 , 25F
川普如果真的關稅亂搞四年，可能就會被追上
05/02 22:07, 25F
推
05/02 22:07, 14小時前 , 26F
越來越多風聲出來了，內心平靜
05/02 22:07, 26F
推
05/02 22:08, 14小時前 , 27F
老黃說中國AI... 不 一定追不上的對吧?
05/02 22:08, 27F
→
05/02 22:08, 14小時前 , 28F
下半年麒麟9030就是國產5nm，差不多是台積電3-4nm的
05/02 22:08, 28F
→
05/02 22:08, 14小時前 , 29F
程度吧
05/02 22:08, 29F
推
05/02 22:09, 14小時前 , 30F
樓下
05/02 22:09, 30F
→
05/02 22:09, 14小時前 , 31F
對了，國產7nm相當
05/02 22:09, 31F
→
05/02 22:09, 14小時前 , 32F
台積電5nm
05/02 22:09, 32F
推
05/02 22:10, 14小時前 , 33F
我獨自升級
05/02 22:10, 33F
→
05/02 22:11, 14小時前 , 34F
中又贏
05/02 22:11, 34F
推
05/02 22:12, 14小時前 , 35F
拜託對中國宣傳要有信心好嗎？看看之前狂吹過的突
05/02 22:12, 35F
→
05/02 22:12, 14小時前 , 36F
破進步現在怎麼了好嗎？武漢肺炎疫苗之父、航母總
05/02 22:12, 36F
推
05/02 22:12, 14小時前 , 37F
相當台積5nm XDD 良率多少？
05/02 22:12, 37F
→
05/02 22:12, 14小時前 , 38F
工程師、C919總指揮、半導體大基金掌控人…那個不
05/02 22:12, 38F
還有 113 則推文
推
05/03 01:06, 11小時前 , 152F
跟ChatGPT比，DS跟垃圾差不多，小粉紅都不敢吹了
05/03 01:06, 152F
→
05/03 01:28, 10小時前 , 153F
所以你剛跑去照鏡子嗎
05/03 01:28, 153F
噓
05/03 01:30, 10小時前 , 154F
這要商用還得10年耶
05/03 01:30, 154F
噓
05/03 01:32, 10小時前 , 155F
查就知道這帳號帶任務發文的
05/03 01:32, 155F
噓
05/03 01:35, 10小時前 , 156F
整天突破
05/03 01:35, 156F
推
05/03 01:56, 10小時前 , 157F
西方科學家是人 東方的也是人阿 科科 更不用說一大
05/03 01:56, 157F
→
05/03 01:56, 10小時前 , 158F
堆中國人寫論文
05/03 01:56, 158F
噓
05/03 02:09, 10小時前 , 159F
這種拆那破新聞天天放衛星的，真正突破他們不會講
05/03 02:09, 159F
→
05/03 02:09, 10小時前 , 160F
的！
05/03 02:09, 160F
→
05/03 02:32, 9小時前 , 161F
所以你剛照完 結果如何 驗證一下低能看別人都低
05/03 02:32, 161F
→
05/03 02:32, 9小時前 , 162F
到底是不是真的
05/03 02:32, 162F
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05/03 03:06, 9小時前 , 163F
手工刻+1
05/03 03:06, 163F
→
05/03 03:20, 9小時前 , 164F
沒人會聽低能的話去做事吧
05/03 03:20, 164F
推
05/03 03:41, 8小時前 , 165F
即便他把10分吹成100分,但只要逐步累積10分的進度
05/03 03:41, 165F
→
05/03 03:42, 8小時前 , 166F
那也是種進步
05/03 03:42, 166F
→
05/03 03:43, 8小時前 , 167F
只要他沒有80分90分的東西可以用,也只能慢慢從10分
05/03 03:43, 167F
→
05/03 03:43, 8小時前 , 168F
去累積
05/03 03:43, 168F
→
05/03 03:45, 8小時前 , 169F
終於累積到100分，總分也成長到10000分了
05/03 03:45, 169F
推
05/03 04:21, 8小時前 , 170F
連佳能都打不贏了還asml 哩
05/03 04:21, 170F
推
05/03 04:49, 7小時前 , 171F
不會又被消失吧
05/03 04:49, 171F
推
05/03 05:22, 7小時前 , 172F
看推文一堆意識型態作祟 就覺得好笑
05/03 05:22, 172F
→
05/03 05:23, 6小時前 , 173F
想當初面板也是笑人家良率 現在台灣？？
05/03 05:23, 173F
→
05/03 05:24, 6小時前 , 174F
對岸很多產業捲的很厲害 尤其是硬體
05/03 05:24, 174F
推
05/03 06:26, 5小時前 , 175F
對岸是沒先進製程!但成熟製程已經打掛聯電了CC
05/03 06:26, 175F
→
05/03 06:27, 5小時前 , 176F
台灣還真沒啥基礎技術研發!主要還是靠美國CC
05/03 06:27, 176F
→
05/03 06:29, 5小時前 , 177F
所以美國人要搞GG太簡單了!啥都被卡脖子CC
05/03 06:29, 177F
→
05/03 06:50, 5小時前 , 178F
05/03 06:50, 178F
→
05/03 06:51, 5小時前 , 179F
05/03 06:51, 179F
噓
05/03 07:38, 4小時前 , 180F
笨蛋上當
05/03 07:38, 180F
推
05/03 07:48, 4小時前 , 181F
鐘佑盈：誰叫我？
05/03 07:48, 181F
推
05/03 07:54, 4小時前 , 182F
看到這邊一堆秀自己腦袋下線的發言耶，三星沒人卡
05/03 07:54, 182F
→
05/03 07:54, 4小時前 , 183F
他脖子照理說不是應該已經研發到.7奈米了。
05/03 07:54, 183F
→
05/03 07:55, 4小時前 , 184F
現在5奈米以下幾乎是gg的天下
05/03 07:55, 184F
推
05/03 08:24, 3小時前 , 185F
舉面板例子也很好笑。面板技術門檻又不高
05/03 08:24, 185F
推
05/03 08:31, 3小時前 , 186F
你有技術美國要玩你也沒用!封你機台耗材你就玩完CC
05/03 08:31, 186F
→
05/03 08:32, 3小時前 , 187F
日本當初技術半導體技術也是一流還是被美國玩死CC
05/03 08:32, 187F
→
05/03 08:34, 3小時前 , 188F
你只要其中一個半導體技術要用美國的就被卡死CC
05/03 08:34, 188F
噓
05/03 10:59, 1小時前 , 189F
中國持續“進步”（X）持續“山寨”（O）
05/03 10:59, 189F
推
05/03 11:38, 44分鐘前 , 190F
中國就是全零件國產化的，還在幻想美國卡脖子……
05/03 11:38, 190F
→
05/03 11:49, 33分鐘前 , 191F
又一個低能
05/03 11:49, 191F
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