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討論串[新聞] 年底前關閉部分EUV省成本，台積電：不評論市場傳聞
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只要不打光 只噴Tin. EUV應該不會多耗電. 會耗掉通常都是drive laser 要打tin droplet. 打出EUV光 才會耗掉大量的電力. 台積只要讓機台維持不打光 就算需求減少也. 還好 讓機台idle 按時PM 貨來隨時可以曝光. 總比關機好. 關機再開機….大概要調雷射就要調很久
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小弟之前在仙境當了20年蝕刻設備，之前每年工程都要停電歲修，全部機台都要關電，因為廠務也是要關電的，整個廠房連空調都停了. 那關電開機問題一定是一堆沒錯，不過正常都是開機後加上測機大概三天內都可以搞定，其中最爽的就是黃光，因為他們機台不需要保持真空問題，所以開關機都很快，euv 機需要弄到真空嗎？如
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我也認為半導體廠目前不會斷電省成本，Fat大大是設備商角度. 那我以User角度來看，關電問題. 關電就是沒錢才關的，所以真的關電後：. 1.關電後缺料就去拆PM3機台上的parts，反正主管能過的了這關最重要. 2.管理問題，拆機件要不要補？何時補？怎麼補？. 工程師拆了可能不講的，換了一個壞的，
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身為一個設備商現職工程師.... 半導體設備是不太可能上線之後關大電的!!甚至 EMO 按下去你就是得被懲處.... 這個概念跟一般用電不太一樣，. 就機台寧願開著放在那邊，就算不 RUN 貨 (Wafer) 也不願意關大電. 關大電以後再開，很多東西要重新調整，甚至有些精密的元件可能這樣掛掉. 舉
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機台off過 啟動要調機 cw跑完 跑lot交替跑. qc par scr purge有的沒的 看那台需要什麼就驗什麼. 有時qc就要驗幾十種 不然就是particle跑了幾百次還是無法進chart. 比較舊一點的機型精度不高還比較容易mon過. 驗不過搞死EE跟PE 然後MFG會每天早上提. 驗機
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