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討論串[請益] 請問有大大知道Pattern density嗎?
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#1
[請益] 請問有大大知道Pattern density嗎?
推噓15(15推 0噓 16→)留言31則，0人參與, 最新作者doourbest23 (miaw)時間7年前 (2017/07/30 00:15), 編輯資訊
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如題. 請問大大知道Pattern Density effect嗎?(也有人稱為Loading effect). 知道Pattern Density與u-trench/fence/facet的關係嗎?. Pattern Density 與EPD(End point detection)之間有何關係嗎
#2
Re: [請益] 請問有大大知道Pattern density嗎?
推噓8(8推 0噓 2→)留言10則，0人參與, 最新作者melzard (如理實見)時間7年前 (2017/07/30 01:15), 7年前編輯資訊
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鍵盤工程師大概講一下 有講錯的話請專業人士出來指正感謝. Loading effect在蝕刻過程指的是pattern的分布差異在蝕刻過程中造成的. 蝕刻速度, sidewall polymer沉積速率的影響.. 比如說, 現在蝕刻的圖形是孔洞(Via hole), 在孔洞密集分布的區域和孔洞. 分散
(還有893個字)
#3
Re: [請益] 請問有大大知道Pattern density嗎?
推噓3(3推 0噓 0→)留言3則，0人參與, 最新作者negohsu (專打不專業環團)時間7年前 (2017/07/30 14:11), 7年前編輯資訊
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小弟不才，來這野人獻曝了. loading effect分兩種，跟斯斯不一樣，分別是marco loading 與micro loading。. Marco loading effect發生在晶圓曝露面積不同時，有不同的蝕刻率，一般文獻你會看到叫open area ratio。當open area
(還有987個字)
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