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討論串[討論] GG還是不能沒有TEL
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你不要看track 這麼沒有辣. 舉個例子來說 Main Arm 上面那支夾wafer 的叉子. 我原本也以為只是普通的叉子而已. 有次壞掉惹 (真空吸不起來) 問廠商報價. 乾你娘的 那ㄧ支「前端的」叉子 就要5萬多台幣 (大概長度10公分吧). 我差點沒有罵髒話 你去搶比較快啦. 後來有內行人解
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安安. 之前粗淺學過半導體啦. 想請問Track技術門檻到底有多高?. Track難顧眾所皆知. 不過小弟朋友說現在Track最看重的是改機. 不然新機型跟舊機型差異多半是效率而已. 像HHP、PHP之類有SVID能監控的算小事. 最麻煩的是塗佈狀況. 機台只能回報流量. 問題是光阻擠出來長什麼樣子
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TEL的產品有. 黃光track(coater and developer). 蝕刻. WET. 爐管. CVD. GG不能完全沒有TEL. 為什麼呢. 蝕刻跟CVD還有Lam跟applied可用,市佔率本來就比較高,Lam還是蝕刻龍頭. WET有CLEAN一哥 DNS. 爐管有KOKUSAI跟AS
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