[問題] 小幫浦?
我們做了一個小吸台,
把樣品(小substrate)放在台上小孔上,就能吸住、固定樣品,
方便兩手在顯微鏡下對它修黏線路、加工等。
(有點像spinner的樣品台,只是不需旋轉,也不需高吸力。)
吸台要接幫浦,
我有兩個油式mechanical pump,缺點是:
1. 可能油氣污染吸台與樣品。
2. 兩個幫浦都各自負責其他腔體,要另外分支抽這個非真空吸台,很不方便。
若另外為這個根本不嚴謹的小裝置買幫浦,實在大材小用,
而且一般大小的幫浦很吵。
請問有沒有安靜乾淨的小抽氣機器,適合我的小吸台呢?
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1. 以前是接house vacuum,但我現在實驗室沒有。
2. 更早的實驗室是直接用雙面膠或resist、grease黏住樣品,
但黏太鬆樣品會動,容易有失誤,
黏太緊,拔下時很可能小傷精細元件,
總是不太方便。
不知各位是怎麼固定樣品在直立顯微鏡下的?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.122.161.110
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夾具不太方便,因為加工處多在邊緣。
我們蒸鍍時也不常用夾具,常用雙面膠黏。正面夾佔掉太多面積,我們元件太迷你了。
※ 編輯: ballII 來自: 140.122.161.110 (10/11 18:04)
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(我沒有摸過PDMS,只有讀paper讀過)
PDMS固化後還有黏性嗎?黏焊東西時不會把substrate黏起來脫離PDMS嗎?
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