Re: [請益] 請問拋光與抹磨差別
基本上
磨削(grinding)用砂輪的
研磨(lapping)用研磨液 研磨粉(粒徑1條)+水
拋光(polish) 用拋光液 拋光粉(粒徑0.1條)+水
抹磨??沒聽過
以矽晶圓製程來做說明
http://www.waferworks.com/chinese/04_quality/11assurance.php?CID=4&ID=6
grinding and lapping 都是將素材加工到所需的外型
屬於粗加工 當然 粗加工就是要快 快就是要重刀
因此在材料表面會殘留破壞層
所以加工完後須搭配蝕刻製程將材料表面的破壞層移除
另外由於粒徑的關係 grinding and lapping 的Ra有一定的上限
拋光製程則是要使材料表面Ra...達到標準，雖然拋光也會造層破壞層
但與grinding lapping相比可以忽視
※ 引述《wi827 (夏天海邊)》之銘言：
: 如題請問一下拋光與抹磨(研磨?)"製程"差別差在哪??
: 我知道一個拋光出來的工件會有光澤~~
: 但是他們主要的製造程序上有哪個地方是最大的差異??
: 台大機械的考題~~但是我看書上沒寫自己也比較不出來~"~
: 請教了~~感謝~~
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◆ From: 219.68.72.57
推
02/08 08:53, , 1F
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