[問題] 請問XeF2
最近跟實驗室學弟聚餐,有討論到之後研究的一些方向
會有需要用到XeF2這種結晶做為Si蝕刻的氣體
想請問板上大大是否有使用過這種材料的相關經驗
是跟哪一家廠商訂購,價格跟容量大概是多少
以及在使用,安全性保存方面還有後續處理的相關資訊
請不吝告知0.0...謝謝~~~
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