[新聞] 生產3奈米晶片!陸半導體技術重大突破「不同於ASML」

看板Stock (股票)作者 (雷)時間13小時前 (2025/03/25 15:20), 編輯推噓56(913538)
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原文標題:生產3奈米晶片!陸半導體技術重大突破「不同於ASML」 ※請勿刪減原文標題 原文連結: https://bit.ly/4hIRq3A ※網址超過一行過長請用縮網址工具 發布時間: 12:232025/03/25 工商 賴瑩綺 ※請以原文網頁/報紙之發布時間為準 記者署名: 12:232025/03/25 工商 賴瑩綺 ※原文無記載者得留空 原文內容: 大陸快科技報導,中國科學院研發除了突破性的固態DUV(深紫外線)雷射,可發射193nm的 相干光,與目前主流的DUV曝光波長一致,能將半導體製程推進至3nm。 據悉,ASML、佳能、Nikon的DUV光刻機都採用了氟化氙(ArF)準分子雷射技術,透過氬、 氟氣體混合物在高壓電場下生成不穩定分子,釋放出193nm波長的光子,然後以高能量的短 脈衝形式發射,輸出功率100-120W,頻率8k-9kHz,再透過光學系統調整,用於曝光設備。 中科院的固態DUV雷射技術完全基於固態設計,由自製的Yb:YAG晶體放大器產生1030nm的雷 射,在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。之後,轉換後的兩路雷射透過串級硼酸鋰( LBO)晶體混合,產生193nm波長的雷射光束。 最後獲得的雷射平均功率為70mW,頻率為6kHz,線寬低於880MHz,半峰全寬(FWHM)小於0. 11皮米(千分之一奈米),光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。基於此,可用於3nm 的製程節點。 報導稱,這種設計可以大幅降低微影系統的複雜度、體積,減少對於稀有氣體的依賴,並大 幅降低能耗。 報導指出,這種全固態DUV光源技術雖然在光譜純度上已經和商用標準相差無幾,但是輸出 功率、頻率都還低很多。對比ASML的技術,頻率達到了約三分之二,但輸出功率只有0.7% 的水平,因此仍然需要繼續迭代、提升才能商用。 心得/評論: 每次看中時集團的新聞都覺得好好笑 標題很會下生產3奈米? 內文193nm DUV ~只能生產65nm好嗎? 要搭配immersion 才能做40nm以下到7nm 你光能量只有ASML的0.7%,到底樣泡水裡面? 笑死人 ※必需填寫滿30正體中文字,無意義者板規處分 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.138.20.95 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Stock/M.1742887200.A.578.html

03/25 15:20, 13小時前 , 1F
吹起來
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03/25 15:21, 13小時前 , 2F
中又贏
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03/25 15:21, 13小時前 , 3F
之前都手刻5奈米了,3奈米算什麼?
03/25 15:21, 3F

03/25 15:21, 13小時前 , 4F
為啥可以下這個標題?
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03/25 15:22, 13小時前 , 5F
中又贏麻
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03/25 15:22, 13小時前 , 6F
中國又在吹了
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03/25 15:22, 13小時前 , 7F
中國哪次不成功
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03/25 15:23, 13小時前 , 8F
開頭先寫明中時 可以節省很多人時間
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03/25 15:23, 13小時前 , 9F
讚喔又贏了
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03/25 15:23, 13小時前 , 10F
涼綠呢?
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03/25 15:24, 13小時前 , 11F
鍾幼瑩
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03/25 15:24, 13小時前 , 12F
深淵大突破
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03/25 15:24, 13小時前 , 13F
騙我時間
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03/25 15:25, 13小時前 , 14F
喔是喔
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03/25 15:26, 13小時前 , 15F
不懂的人會以為很屌啊
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03/25 15:26, 13小時前 , 16F
這種文一出鹿港就是至少緩跌半年
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03/25 15:27, 13小時前 , 17F
笑死 實驗室生產 有屁用 連良率都沒有的製程
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03/25 15:27, 13小時前 , 18F
結果還是不能用
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03/25 15:28, 13小時前 , 19F
中時的
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03/25 15:28, 13小時前 , 20F
拜託你快點傾全國力量去做 有多少做多少
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03/25 15:28, 13小時前 , 21F
前面吹完嚇死人,後面一看0.7%笑死人
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03/25 15:29, 13小時前 , 22F
0.7%==
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03/25 15:30, 13小時前 , 23F
東升西降 中國或成最大贏家
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03/25 15:32, 13小時前 , 24F
贏麻了
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03/25 15:32, 13小時前 , 25F
良率呢?
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03/25 15:32, 13小時前 , 26F
三星和Intel連拿到EUV也作不出像樣的東西來
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03/25 15:32, 13小時前 , 27F
最後一句是重點~不能商用
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03/25 15:32, 13小時前 , 28F
你想追上還早
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03/25 15:33, 13小時前 , 29F
反正已經是中美的事 跟台無關惹
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03/25 15:33, 13小時前 , 30F
反觀
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03/25 15:34, 13小時前 , 31F
記者只要抄文章了事就好了 真正的薪水小偷
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03/25 15:34, 13小時前 , 32F
有沒有陸吹 快點出來吹 我來笑
03/25 15:34, 32F

03/25 15:35, 13小時前 , 33F
TSMC DIE!
03/25 15:35, 33F

03/25 15:36, 13小時前 , 34F
丸子 買些台G壓壓驚
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03/25 15:37, 13小時前 , 35F
這是好事,多浪費一點電啊嘻嘻
03/25 15:37, 35F

03/25 15:37, 13小時前 , 36F
智障新聞
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03/25 15:37, 13小時前 , 37F
難怪台積電一直崩,原來早知道了
03/25 15:37, 37F

03/25 15:38, 13小時前 , 38F
良率?繼續吹
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03/25 15:38, 13小時前 , 39F
雷射平均功率70mW XDDD
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還有 85 則推文
03/25 17:56, 10小時前 , 125F
笑死
03/25 17:56, 125F

03/25 18:05, 10小時前 , 126F
彎道超車 開卷
03/25 18:05, 126F

03/25 18:12, 10小時前 , 127F
0.7趴的功率0.0?
03/25 18:12, 127F

03/25 18:13, 10小時前 , 128F
這樣要商用是不是只能力大磚飛
03/25 18:13, 128F

03/25 18:19, 10小時前 , 129F
唐湘聾吹好幾天了,我聽到笑到流眼淚
03/25 18:19, 129F

03/25 18:26, 10小時前 , 130F
統戰新聞台不必看
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03/25 18:33, 10小時前 , 131F
麒麟9020都追上台積電5nm了,下一次就是追上3或4nm
03/25 18:33, 131F

03/25 18:38, 10小時前 , 132F
研發最新最利最高科技的美工刀
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03/25 18:38, 10小時前 , 133F
太牛逼了
03/25 18:38, 133F

03/25 18:42, 9小時前 , 134F
中時
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03/25 18:48, 9小時前 , 135F
中屎的日常
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03/25 18:48, 9小時前 , 136F
肯做肯試推
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03/25 18:59, 9小時前 , 137F
看到中時就先打1折
03/25 18:59, 137F

03/25 19:01, 9小時前 , 138F
又贏
03/25 19:01, 138F

03/25 19:11, 9小時前 , 139F
中國又贏了
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03/25 19:21, 9小時前 , 140F
快科技哪根蔥
03/25 19:21, 140F

03/25 19:24, 9小時前 , 141F
是30年老師傅施工的嗎?
03/25 19:24, 141F

03/25 19:28, 9小時前 , 142F
小熊維尼國不是已經0.3奈米了嗎?
03/25 19:28, 142F

03/25 19:29, 9小時前 , 143F
爻爻領先
03/25 19:29, 143F

03/25 19:31, 9小時前 , 144F
沒藥醫
03/25 19:31, 144F

03/25 19:43, 8小時前 , 145F
可以用在3奈米這句話本身就很有趣
03/25 19:43, 145F

03/25 19:43, 8小時前 , 146F
因為3nm還是需要些比較舊的機型
03/25 19:43, 146F

03/25 19:52, 8小時前 , 147F
0.7%…水就吸收了吧
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03/25 19:57, 8小時前 , 148F
貼牌
03/25 19:57, 148F

03/25 20:07, 8小時前 , 149F
詐騙之國
03/25 20:07, 149F

03/25 20:07, 8小時前 , 150F
不吹不黑...中必贏 又贏 雙贏 贏兩次 贏麻了!!
03/25 20:07, 150F

03/25 20:10, 8小時前 , 151F
搖搖領先
03/25 20:10, 151F

03/25 20:24, 8小時前 , 152F
準分子雷射很久了...講得很潮一樣
03/25 20:24, 152F

03/25 20:34, 8小時前 , 153F
吹幾次了?十五年前就說超越臺雞雞
03/25 20:34, 153F

03/25 20:37, 8小時前 , 154F
全世界研發都贏不了中國
03/25 20:37, 154F

03/25 20:44, 7小時前 , 155F
PTT有再酸葡萄了
03/25 20:44, 155F

03/25 20:52, 7小時前 , 156F
70mW…throughput會很慘…
03/25 20:52, 156F

03/25 21:00, 7小時前 , 157F
100台同時用不就70%? 200台140% 贏麻了
03/25 21:00, 157F

03/25 21:22, 7小時前 , 158F
輸出功率笑死XD,用duv良率能上來再吹吧
03/25 21:22, 158F

03/25 21:34, 7小時前 , 159F
手磨3nm
03/25 21:34, 159F

03/25 22:22, 6小時前 , 160F
光力過剩….
03/25 22:22, 160F

03/25 23:34, 5小時前 , 161F
怕死了,明天全部出清艾斯摸餌
03/25 23:34, 161F

03/26 00:19, 4小時前 , 162F
中國最會表面工程 包括標題都是
03/26 00:19, 162F

03/26 00:19, 4小時前 , 163F
鐘又淫
03/26 00:19, 163F

03/26 01:14, 3小時前 , 164F
再研發個30年進入量產 遙遙領先
03/26 01:14, 164F
文章代碼(AID): #1dubaWLu (Stock)
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