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[新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導

看板Tech_Job (科技人)作者 (勤樸)時間14小時前 (2025/05/02 21:51), 14小時前編輯推噓6(12推 6噓 43→)
留言61則, 19人參與, 42分鐘前最新討論串1/1
作者: noposo (尼波) 看板: Gossiping 標題: [新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學 時間: Fri May 2 10:52:12 2025 備註請放最後面 違者新聞文章刪除 1.媒體來源: ETtoday 2.記者署名: 魏有德 3.完整新聞標題: 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導 4.完整新聞內文: https://cdn2.ettoday.net/images/8198/8198054.jpg
大陸中科院上海光學精密機械研究所近日傳出前ASML首席科學家林楠率領研究團隊，繞過 二氧化碳激光（雷射光，下同），使用固體激光器技術，成功開發出LPP-EUV光源，已達 國際領先水準，對大陸國產芯片（晶片，下同）及自主研發EUV光刻機具重大意義和突破 。 林楠團隊的研究成果發表於《中國激光》期刊雜誌第6期（2025年3月下），該團隊研究人 員估計，光源實驗平台的理論最大轉換效率可能接近6%，團隊正計劃增加進一步的研究， 未來有望進一步實現國產EUV光刻技術。 公開資訊顯示，EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其中，二 氧化碳激光器激發的Sn等離子體 CE大於5%，是ASML光刻機的驅動光源，這類光源技術由 美國Cymer製造，屬於全球壟斷地位。 在光刻機關鍵技術「卡脖子」的情況下，林楠團隊考慮使用固體脈衝激光器代替二氧化碳 激光作為驅動光源，但能量效率仍需進一步提升。現階段研究成果顯示，林楠團隊1um固 體激光的CE最高可達3.42%，超過荷蘭和瑞士研究團隊的水平，雖仍未超過4%，但已達到 商用光源5.5%轉化效率的一半。 至於該研究團隊的領銜人物林楠擁有眾多身份，他是大陸中科院上海光機所研究員、博導 ，大陸國家海外高層次人才，超強激光科學與技術全國重點實驗室副主任，精密光學工程 部技術總師，中國儀器儀表學會集成電路分會委員，中國光學工程學會微納專委會委員， 曾任荷蘭ASML公司研發科學家、研發部光源技術負責人。 林楠主攻機體電路製造光刻光源以及芯片量檢測光源研發與工程應用研究，師從2023諾貝 爾物理學獎得主「Anne l'Huillier」。 截止目前為止，林楠申請及授權美、日、韓等國國際專利110餘項，多項專利已完成產品 轉化搭載在最新型光刻機及量檢測設備中。 5.完整新聞連結 (或短網址)不可用YAHOO、LINE、MSN等轉載媒體: https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm 6.備註: -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.255.48.71 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1746154334.A.D69.html
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05/02 10:53, 1天前 , 1F
完了完了
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05/02 10:53, 1天前 , 2F
手刻業者準備失業
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推
05/02 10:53, 1天前 , 3F
吹起來？
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推
05/02 10:53, 1天前 , 4F
美國會說這項技術是我們的
05/02 10:53, 4F
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05/02 10:53, 1天前 , 5F
必須突破
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推
05/02 10:53, 1天前 , 6F
ALSM 沒偷偷幫忙 我是不信啦
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推
05/02 10:53, 1天前 , 7F
綠蟾蜍：一定是偷美國技術……
05/02 10:53, 7F
推
05/02 10:54, 1天前 , 8F
前員工…
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推
05/02 10:55, 1天前 , 9F
這樣一來全世界只會更忌憚華人
05/02 10:55, 9F
推
05/02 10:55, 1天前 , 10F
遲早的事而已 13億人口美國怎封鎖的了
05/02 10:55, 10F
推
05/02 10:56, 1天前 , 11F
禁華為生鴻蒙，禁芯片生光刻
05/02 10:56, 11F
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05/02 10:57, 1天前 , 12F
踏媽只能綠處發明東西，不然會雞蛋華人
05/02 10:57, 12F
推
05/02 10:57, 1天前 , 13F
光刻機剛被禁的時候一堆人把光刻機吹上
05/02 10:57, 13F
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05/02 10:57, 1天前 , 14F
天,說什麼可能十年都做不出來==
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推
05/02 10:57, 1天前 , 15F
原理都擺在那邊了。 只要有個幾兆都能做吧
05/02 10:57, 15F
推
05/02 10:58, 1天前 , 16F
這次是真 漢芯
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噓
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【【【台巴子傻鳥等著看吧!!!!!】】】
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推
05/02 10:58, 1天前 , 18F
太棒了 中國又贏了
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台灣：蛤？潛艦國造？
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05/02 10:58, 1天前 , 20F
藍白粉高潮
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05/02 10:58, 1天前 , 21F
忌憚啥 你本來乖乖賣 他也不用自己研發的
05/02 10:58, 21F
推
05/02 10:58, 1天前 , 22F
ASML應該是被偷技術的那一邊吧 = = 慘
05/02 10:58, 22F
推
05/02 10:59, 1天前 , 23F
遙遙領先，每一次都，遙遙領先
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推
05/02 10:59, 1天前 , 24F
別怕,青鳥說20年都追不上
05/02 10:59, 24F
推
05/02 10:59, 1天前 , 25F
支八板又高潮了，好像一副很與有榮焉
05/02 10:59, 25F
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05/02 10:59, 1天前 , 26F
的樣子。
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05/02 10:59, 1天前 , 27F
ASML當初配合禁令的時候就抱怨過了
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05/02 11:00, 1天前 , 28F
扯那麼多 還不是為了釣ASML賣機器
05/02 11:00, 28F
推
05/02 11:00, 1天前 , 29F
搭惹個不知可不可靠的灶台
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推
05/02 11:00, 1天前 , 30F
祖國牛逼
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推
05/02 11:00, 1天前 , 31F
好了啦 中又贏
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推
05/02 11:01, 1天前 , 32F
慘了，青鳥又要抓狂了
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05/02 11:01, 1天前 , 33F
這種爛招都用多少次了還有人會被騙
05/02 11:01, 33F
推
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對岸全世界都一堆人才 遲早做得出來
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05/02 11:01, 1天前 , 35F
還有菜單 原料 火候 裝盤 上桌
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美國：中國偷竊美國的未來技術！
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推
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越限制就真的逼中國突破而已，沒限制中
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國現在還在用A800
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05/02 11:02, 1天前 , 39F
早晚做出來 一定是中午休息
05/02 11:02, 39F
還有 188 則推文
還有 1 段內文
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05/03 05:29, 6小時前 , 228F
司獨家合作 載台設計也模組化 各
05/03 05:29, 228F
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05/03 05:29, 6小時前 , 229F
供應公司部分也是獨家供應 EUV算是
05/03 05:29, 229F
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05/03 05:29, 6小時前 , 230F
集人類各層面學科的極致 前首執行
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05/03 05:29, 6小時前 , 231F
長知道難處 甚至說就算給圖紙 中國
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造不起來 中國也許可以單點突破 即
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05/03 05:29, 6小時前 , 233F
使突破 也不可能跟EUV比擬
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如果砸錢 挖人 偷技術就能這樣簡單
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05/03 05:29, 6小時前 , 235F
突破設計EUV 你說尼康與佳能突破
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05/03 05:29, 6小時前 , 236F
這可信度還高一點…
05/03 05:29, 236F
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05/03 06:29, 5小時前 , 237F
做出來再發新聞不行嗎
05/03 06:29, 237F
推
05/03 06:34, 5小時前 , 238F
運來弄個光源就叫做突破喔！夢想真
05/03 06:34, 238F
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05/03 06:34, 5小時前 , 239F
低呀！
05/03 06:34, 239F
推
05/03 08:11, 4小時前 , 240F
八卦又急著幫中國慶祝
05/03 08:11, 240F
推
05/03 08:13, 4小時前 , 241F
就算成功 跟你們八卦版文組有什麼關
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05/03 08:13, 4小時前 , 242F
係
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05/03 08:13, 4小時前 , 243F
整天很光榮一樣
05/03 08:13, 243F
推
05/03 08:38, 3小時前 , 244F
可怕的是，每次都在酸，時間過去，
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一項一項被超車，台灣教育強調意識
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05/03 08:38, 3小時前 , 246F
形態，而沒理性分析風險管理，難怪
05/03 08:38, 246F
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05/03 08:38, 3小時前 , 247F
目前還在吃黨國時期的半導體紅利，
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05/03 08:38, 3小時前 , 248F
更何況國際機場、工研院、竹科、國
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05/03 08:38, 3小時前 , 249F
道一三號、國網中心也都是前人的基
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05/03 08:38, 3小時前 , 250F
礎建設投入
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05/03 08:39, 3小時前 , 251F
張忠謀自傳看完後，有明顯的震撼與
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05/03 08:39, 3小時前 , 252F
對比，現在的政府能力跟遠見實在差
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太大，投入太多在選舉跟意識形態了
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05/03 08:39, 3小時前 , 254F
，不勝唏噓
05/03 08:39, 254F
噓
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遙遙領先 千年大計
05/03 09:02, 255F
噓
05/03 09:17, 3小時前 , 256F
陸你老木
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05/03 09:34, 2小時前 , 257F
陸委會的陸
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噓
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還是陸你老木
05/03 10:06, 258F
推
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文組一點論述能力都沒有，還在洗意
05/03 10:35, 259F
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05/03 10:35, 1小時前 , 260F
識形態，台灣真的會被搞到沒競爭力
05/03 10:35, 260F
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05/03 10:36, 1小時前 , 261F
執政十年了，對比對岸同期145計劃，
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05/03 10:36, 1小時前 , 262F
七成產業達標世界級，民進黨還在投
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05/03 10:36, 1小時前 , 263F
入網軍洗腦，能源、產業競爭力、外
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05/03 10:36, 1小時前 , 264F
交、交通建設，幾乎停擺…
05/03 10:36, 264F
噓
05/03 11:17, 1小時前 , 265F
又贏惹 瑩兩次
05/03 11:17, 265F
推
05/03 11:36, 42分鐘前 , 266F
青鳥躲到洞裡堅決不相信，掩面痛哭
05/03 11:36, 266F
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05/03 11:36, 42分鐘前 , 267F
了
05/03 11:36, 267F
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