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[請問] CMP半導體設備應用已回收

看板ask (問板)作者kiyohara (清源)時間11年前 (2014/10/28 12:02)推噓1(1推 0噓 0→)

留言1則, 1人參與討論串1/1

請問一下小弟目前研究CMP設備想問IC傳統製程使用的CMP和目前3DIC所使用的CMP是同款嗎? 可以用於傳統IC也可用於3DIC? 裡面的零件(如卡環研磨器 Pad )也需要更換嗎? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 210.61.65.42 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/ask/M.1414468973.A.027.html

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