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請問XeF2

看板AfterPhD (博士後)作者nikonboy (賺錢與生活並重)時間13年前 (2013/02/03 13:03)推噓0(0推 0噓 0→)

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最近跟實驗室學弟聚餐,有討論到之後研究的一些方向會有需要用到XeF2這種結晶做為Si蝕刻的氣體想請問板上大大是否有使用過這種材料的相關經驗是跟哪一家廠商訂購,價格跟容量大概是多少以及在使用,安全性保存方面還有後續處理的相關資訊請不吝告知0.0...謝謝~~~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 114.25.170.150

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