Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響

看板Mechanical (機械)作者Reinhard0712 (化石)時間17年前 (2008/10/23 12:23)推噓1(1推 0噓 0→)

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如果是sputter的真空度會影響打出來的金屬的品質真空度差有可能打出來的東西會容易被掀掉或是剝落(此處是以MEMS製程來說) 理由就如前面所說主要還是污染物的問題幾種症狀下可以懷疑是漏氣第一個是pump抽氣抽不下去 (當然也有可能是pump本身換掉) 這時候最好是換另外一顆pump作測試至於真空pump 理論上是一段時間應該送出去保養一次久不保養就是會有老化的情形判斷的方式大概還是看抽氣效率我所管理的設備正常抽到工作壓力是半小時但如果久不保養大概抽個一個半小時都還抽不到第二個就是抽完以後把閥門腔體全部關閉發現回壓的速度很快此時可能的問題如同前面有人說過的是O-ring老化也有可能是管路接縫漏氣或是閥門損壞的漏氣一般請廠商拖氦氣測漏儀來的話我的印象一次是3000以上假如你猜的出來可能是哪裡漏氣可以試試看更換O-ring(記得要塗上真空 grease) 或是把管路接合處的夾具夾緊以上耗材可以在一般專門做迫緊或是賣迫緊耗材的公司買的到(都不貴) 如果你是不確定真空度不足的問題我建議你可以先拿一顆機械pump 抽到極限後看是不是回壓很大如果是的話表示可能是有漏氣把漏氣的問題解決以後再處理真空pump保養因為前者的成本比較低後者的成本很高提供你參考看看話說...原PO不會是買到和利聯合的設備了吧不然其實打電話call一下原廠讓他們處理比較快XD ※ 引述《laiolina (小笨豬)》之銘言： : ※ 引述《play173173 (飛天金毛仔)》之銘言： : : 想問一下真空度沒原本哪麼高時 : : 對濺鍍時會有什麼影響 : : 要如何檢查是否是漏氣 : : 或著怎麼辦斷是因為真空pump老化所致 : 我搞過乾式蝕刻機.是真空設備所以我想概念都一樣 : 基本上真空度的高低會影響到腔體的潔淨度 : 當腔體的水分或是其他氣體濃度過高會產生沉積物汙染腔體 : 也會影響機台的效能 : 基本上判別漏氣要分成1.管線2.腔體兩部分 : 1. : 腔體應該會有控制壓力的閥門,在真空狀態下將控制閥關起.觀察腔體回壓狀態 : 回壓速度過快的話就要檢查腔體所有的o-ring,大部分都是劣外造成腔體漏氣 : 2.管線側漏也是保持管線真空狀態,將氦氣測漏儀裝pump入口前端 : 將腔體壓力控制閥關起來,從閥門後段管線逐一噴氦氣 : 假使管線有漏氣會吸入氦氣,造成pump前端的氦氣測漏儀作動 : 以上是我小小經驗供你參考 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.174.25