Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響
※ 引述《play173173 (飛天金毛仔)》之銘言：
: 想問一下真空度沒原本哪麼高時
: 對濺鍍時會有什麼影響
: 要如何檢查是否是漏氣
: 或著怎麼辦斷是因為真空pump老化所致
我搞過乾式蝕刻機.是真空設備所以我想概念都一樣
基本上真空度的高低會影響到腔體的潔淨度
當腔體的水分或是其他氣體濃度過高會產生沉積物汙染腔體
也會影響機台的效能
基本上判別漏氣要分成1.管線2.腔體兩部分
1.
腔體應該會有控制壓力的閥門,在真空狀態下將控制閥關起.觀察腔體回壓狀態
回壓速度過快的話就要檢查腔體所有的o-ring,大部分都是劣外造成腔體漏氣
2.管線側漏也是保持管線真空狀態,將氦氣測漏儀裝pump入口前端
將腔體壓力控制閥關起來,從閥門後段管線逐一噴氦氣
假使管線有漏氣會吸入氦氣,造成pump前端的氦氣測漏儀作動
以上是我小小經驗供你參考
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