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討論串[請益] 真空度對濺鍍機的影響

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Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響

推噓1(1推 )留言1則，0人參與作者Reinhard0712 (化石)時間17年前 (2008/10/23 12:23)資訊

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如果是sputter的真空度. 會影響打出來的金屬的品質. 真空度差有可能打出來的東西會容易被掀掉或是剝落(此處是以MEMS製程來說). 理由就如前面所說主要還是污染物的問題. 幾種症狀下可以懷疑是漏氣. 第一個是pump抽氣抽不下去 (當然也有可能是pump本身換掉). 這時候最好是換另外一顆

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Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響

推噓0(0推 )留言0則，0人參與作者laiolina (小笨豬)時間17年前 (2008/10/23 00:01)資訊

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我搞過乾式蝕刻機.是真空設備所以我想概念都一樣. 基本上真空度的高低會影響到腔體的潔淨度. 當腔體的水分或是其他氣體濃度過高會產生沉積物汙染腔體. 也會影響機台的效能. 基本上判別漏氣要分成1.管線2.腔體兩部分. 1.. 腔體應該會有控制壓力的閥門,在真空狀態下將控制閥關起.觀察腔體回壓狀態. 回

(還有43個字)

Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響

推噓0(0推 )留言0則，0人參與作者renefourier (拒喝百事可樂!)時間17年前 (2008/10/22 23:06)資訊

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那你應該要先知道濺度的原理. 濺度一般是要靠惰性氣體去撞擊去做濺度的. 所以真空只是將裡頭空氣抽掉～進行換氣～. 但是～裡頭還是最好抽乾淨一點. 避免其他氣體污染靶材或sample. 要是有漏氣～是萬萬不可的. 可以檢查所有管路與Chamber本身接縫處. 最簡單的方式就是抽真空. 然後將真空閥一段

Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響

推噓0(0推 )留言0則，0人參與作者lukawae (Hans)時間17年前 (2008/10/14 23:22)資訊

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如果產品本身真空度需求不高,那影響就不大. 因為真空設備設需求通常都會開的稍高點. 可以比較快速達到需求真空度. 而漏氣要看是漏在桶身或是配管. 如果沒有正己烷或是氦氣測漏儀的話. 最克難就是使用肥皂水像檢查瓦斯一樣的方式. 真空pump老化的可能性不算大. 頂多是斷漏軸封裂化. 還要看是哪一種pu

[請益] 真空度對濺鍍機的影響

推噓2(2推 )留言2則，0人參與作者play173173 (飛天金毛仔)時間17年前 (2008/10/14 15:53)資訊

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想問一下真空度沒原本哪麼高時. 對濺鍍時會有什麼影響. 要如何檢查是否是漏氣. 或著怎麼辦斷是因為真空pump老化所致. --. 忘不了只好逃避,對自己不負責任,盡情的流浪. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 140.96.41.64.

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