[新聞] 中國拼出EUV原型機彎道超車？荷媒最狠打臉文來了
原文標題：中國拼出EUV原型機彎道超車？荷媒最狠打臉文來了
※請勿刪減原文標題
原文連結：https://stock.ltn.com.tw/article/thd3j56azv3g
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發布時間：2026/01/29 20:57
※請以原文網頁/報紙之發布時間為準
記者署名：
※原文無記載者得留空
原文內容：
中國傳出突破技術門檻打造出EUV原型機，被視為中國版「曼哈頓計畫」，引起業界關注
。由於中國未能取得德商蔡司（Carl Zeiss）的光學系統，這是無法動搖半導體設備巨擘
ASML（艾司摩爾） EUV的關鍵原因。荷媒強調，ASML 的秘密武器就是蔡司的鏡子，蔡司
是 ASML 光學系統的唯一供應商。現今市面上所有新款手機與電腦設備中最強大的晶片，
毫無例外都是由 ASML 的設備生產，這些設備若缺乏蔡司的光學技術，根本無法運作。
荷蘭《電訊報》（De Telegraaf）報導，在德國南部的小鎮奧伯科亨（Oberkochen），隱
藏著荷蘭半導體設備巨頭 ASML 能在未來幾年維持霸權地位的最重要籌碼，那就是與光學
專家蔡司（Carl Zeiss AG）的深度合作。在追求效率的荷蘭人催促下，德國人正不斷挑
戰物理學極限，投入一場研發更精微技術、打造更強大晶片的全球競賽。
報導說，這座僅有約 8000 名居民的小鎮，實際上掌控了全球電腦運算力進化的節奏。蔡
司公司是 ASML 光學系統的唯一供應商。現今市面上所有新款手機與電腦設備中最強大的
晶片，毫無例外都是由 ASML 的設備生產，而這些設備若缺乏蔡司的光學技術，根本無法
運作。
為了製造先進晶片，最先進的 ASML 曝光機使用了波長僅 13.5 奈米的極紫外光（EUV）
。儘管中國此前宣稱已成功複製 ASML 的 EUV，打造出EUV原型機，但光學系統依然是中
國最難以跨越的障礙。
蔡司半導體光學元件製造總裁亨舍（Christoph Hensche）指出：「ASML 的設備能將晶片
圖案縮小到什麼程度，很大程度上取決於光學系統提升解析度的能力。這意味著，我們的
反射鏡就是整個系統的心臟。」
在蔡司總部的展示櫃中，一個 EUV 反射鏡樣本看起來平凡無奇。然而，它的物理精度比
一般浴室鏡子高出 5萬倍。在實際的 ASML 設備中，包含多面這類反射鏡，其中最大的一
面直徑達 1.2 公尺，重量達 400 公斤。
亨舍生動地描述這種極致精度，他說，「這意味著，我們能透過這面反射鏡，利用雷射光
精準擊中月球上的一顆高爾夫球。」
報導提及，蔡司與 ASML 的戰友關係始於 1980 年代，當時 ASML 剛從飛利浦（Philips
）獨立。1990 年代，當 ASML 決定投入數億歐元於當時商業前景不明的 EUV 技術時，蔡
司也義無反顧地加入。
亨舍回憶：「我們共同經歷了許多艱難時刻，特別是 2008 年金融海嘯前後，但我們總能
找到解決方案。」他認為，德國式的「嚴謹」與 ASML 「務實」的文化互補得很好。他強
調，「ASML 天生更願意承擔風險，而我們則傾向深入分析、穩紮穩打。但我們最終還是
選擇共同冒險，因為雙方都知道，產品必須在正確的時間推向市場，通常是愈快愈好。」
為了鞏固這段關係，ASML 於 2016 年斥資 10 億歐元收購了蔡司半導體業務24.9% 的股
份。目前 ASML 第二代 EUV 曝光機的核心改進，便仰賴蔡司技術的持續突破，特別是提
升光學系統的數值孔徑（NA）。
雖然下一代技術「Hyper-NA」已在規劃中，但亨舍強調，光學系統的改良並非全部。
ASML 在光源、組件精度與系統設計上同樣投入巨大努力。
對於「ASML 離不開蔡司，但蔡司理論上可以離開 ASML」的觀點，亨舍坦言理論上雖然成
立，但蔡司並不想離開 ASML。他強調，雙方非常珍惜這段長期的合作夥伴關係，以及共
同創造的商業奇蹟。
心得/評論:
蔡司半導體製造總裁是業內人士
深深了解EUV真的是世界上最複雜,最要求精度的機器阿
不是那麼簡單就能仿造的
ASML最近股價又漲了不少
且仍在繼續與蔡司合作研發下一代的技術
護城河還是很寬廣甚至在擴大中
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