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[新聞]陸傳EUV光刻技術獲重大突破 前ASML科學家林楠主導

看板Tech_Job (科技人)作者 (pl132)時間11小時前 (2025/05/02 12:32), 編輯推噓7(11推 4噓 21→)
留言36則, 16人參與, 2小時前最新討論串1/1
陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導 https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm 林楠團隊的研究成果發表於《中國激光》期刊雜誌第6期（2025年3月下），該團隊研究人 員估計，光源實驗平台的理論最大轉換效率可能接近6%，團隊正計劃增加進一步的研究， 未來有望進一步實現國產EUV光刻技術。 公開資訊顯示，EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其中，二 氧化碳激光器激發的Sn等離子體 CE大於5%，是ASML光刻機的驅動光源，這類光源技術由 美國Cymer製造，屬於全球壟斷地位。 在光刻機關鍵技術「卡脖子」的情況下，林楠團隊考慮使用固體脈衝激光器代替二氧化碳 激光作為驅動光源，但能量效率仍需進一步提升。現階段研究成果顯示，林楠團隊1um固 體激光的CE最高可達3.42%，超過荷蘭和瑞士研究團隊的水平，雖仍未超過4%，但已達到 商用光源5.5%轉化效率的一半。 至於該研究團隊的領銜人物林楠擁有眾多身份，他是大陸中科院上海光機所研究員、博導 ，大陸國家海外高層次人才，超強激光科學與技術全國重點實驗室副主任，精密光學工程 部技術總師，中國儀器儀表學會集成電路分會委員，中國光學工程學會微納專委會委員， 曾任荷蘭ASML公司研發科學家、研發部光源技術負責人。 林楠主攻機體電路製造光刻光源以及芯片量檢測光源研發與工程應用研究，師從2023諾貝 爾物理學獎得主「Anne l'Huillier」。 截止目前為止，林楠申請及授權美、日、韓等國國際專利110餘項，多項專利已完成產品 轉化搭載在最新型光刻機及量檢測設備中。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.177.1.4 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1746160335.A.2FF.html
噓
05/02 12:40, 11小時前 , 1F
遙遙領先~
05/02 12:40, 1F
推
05/02 12:48, 11小時前 , 2F
三星Intel 拿euv也沒做比較好.. 先
05/02 12:48, 2F
→
05/02 12:48, 11小時前 , 3F
進製程很多奇怪的問題不是只卡在e
05/02 12:48, 3F
→
05/02 12:48, 11小時前 , 4F
uv 而已
05/02 12:48, 4F
推
05/02 12:56, 11小時前 , 5F
想看梁孟松有EUV後 可以把中國半島
05/02 12:56, 5F
→
05/02 12:56, 11小時前 , 6F
體 推進到什麼程度
05/02 12:56, 6F
推
05/02 13:37, 10小時前 , 7F
梁孟松在三星不是示範過有EUV了嗎
05/02 13:37, 7F
→
05/02 13:37, 10小時前 , 8F
？
05/02 13:37, 8F
推
05/02 13:50, 10小時前 , 9F
嗯嗯 intel好像也很多台euv 然後就
05/02 13:50, 9F
→
05/02 13:50, 10小時前 , 10F
沒有然後了
05/02 13:50, 10F
噓
05/02 14:20, 9小時前 , 11F
路你老
05/02 14:20, 11F
推
05/02 14:46, 9小時前 , 12F
其實AMSL錫蒸氣光源一直不是啥秘密
05/02 14:46, 12F
→
05/02 14:46, 9小時前 , 13F
雖然細節是商業機密 但是總有個大
05/02 14:46, 13F
→
05/02 14:47, 9小時前 , 14F
方向，要自己走另一條路應該是有什
05/02 14:47, 14F
→
05/02 14:47, 9小時前 , 15F
麼理由才是
05/02 14:47, 15F
→
05/02 15:08, 9小時前 , 16F
卡專利跟管制阿
05/02 15:08, 16F
→
05/02 15:26, 8小時前 , 17F
跟大陸談專利？
05/02 15:26, 17F
→
05/02 15:41, 8小時前 , 18F
他們EUV要卯足全力又不賣海外的話
05/02 15:41, 18F
→
05/02 15:41, 8小時前 , 19F
專利應該不會是他們的考量
05/02 15:41, 19F
推
05/02 16:45, 7小時前 , 20F
中國即將攻克EUV, GG還能有多久優
05/02 16:45, 20F
→
05/02 16:45, 7小時前 , 21F
勢
05/02 16:45, 21F
推
05/02 17:16, 7小時前 , 22F
重點是中國有梁孟松啊，人家有EUV
05/02 17:16, 22F
→
05/02 17:16, 7小時前 , 23F
再把台積那套良率提升導入，會比英
05/02 17:16, 23F
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05/02 17:16, 7小時前 , 24F
特爾三星還快
05/02 17:16, 24F
推
05/02 18:16, 6小時前 , 25F
推，願意投資尖端技術，觀念正確
05/02 18:16, 25F
推
05/02 18:18, 5小時前 , 26F
陸方在軟體、電動車、無人機、新能
05/02 18:18, 26F
→
05/02 18:18, 5小時前 , 27F
源、造船、面板幾乎稱霸，現在資源
05/02 18:18, 27F
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05/02 18:18, 5小時前 , 28F
往半導體去，一項一項突破，至少比
05/02 18:18, 28F
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05/02 18:18, 5小時前 , 29F
台灣還在吃台積電老本有遠見，台灣
05/02 18:18, 29F
→
05/02 18:18, 5小時前 , 30F
還在意識形態內鬥中
05/02 18:18, 30F
推
05/02 18:54, 5小時前 , 31F
痾...喜歡就好XDD
05/02 18:54, 31F
噓
05/02 20:10, 4小時前 , 32F
台積吃老本耶 嘻嘻
05/02 20:10, 32F
噓
05/02 20:42, 3小時前 , 33F
吹很大
05/02 20:42, 33F
推
05/02 21:45, 2小時前 , 34F
CO2轉換雷射效率約20%左右
05/02 21:45, 34F
→
05/02 21:45, 2小時前 , 35F
固態雷射遠遠不及氣體雷射
05/02 21:45, 35F
→
05/02 21:46, 2小時前 , 36F
其他的還可以，但大雷射只能用氣體
05/02 21:46, 36F
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